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Ebenheitsmessung mit Laser-Interferometrie


Eine hochpräzise, berührungslose und optische Ebenheitsmessung von feinstbearbeiteten Präzisionsteilen wird durch das Prinzip der Interferometrie mittels Laser umgesetzt.


Durch die berührungslose und daher besonders schonende interferometrische Messung der Werkstücke entstehen schnelle und hochpräzise Messungen die auch quasi Prozessbegleitend durchgeführt werden können. Dadurch ist nicht nur eine SPC-Auswertung der Fertigungsprozesse einfacher möglich, es kann auch schneller in die Prozessparameter des Schleifprozesses eingegriffen werden wodurch letztlich noch genauere und bessere Bauteile entstehen.


Oberhalb einer Bauteilgröße von Ø 200 mm werden die Bauteile durch verschiedene zusammengefügte Messungen vermessen. Dabei werden die Bauteile unter dem Messgerät geführt bewegt, die Einzelmessungen definiert gesetzt und elektronisch verrechnet.


Ringförmige Bauteile mit einem Ø 600 mm und einer Ringbreite von 200 mm können so in kurzer Zeit mit einer absoluten Genauigkeit von 50 Nanometern vermessen werden.


Ebenheitsmessung


Wir bieten Ebenheitsmessungen für geläppte, polierte, flachgehonte und feingeschliffene Präzisionsteile.


Unsere Laser-Interferenz-Messgeräte – berührungslos arbeitend – erlauben die Bestimmung der Ebenheit feinbearbeiteter Präzisionsteile im Nanometer-Bereich. Sie übertreffen sogar die Anforderungen an moderne Messgeräte für die Produktion und die Qualitätssicherung von anspruchsvollen Komponenten wie sie bei Dieseleinspritzsystemen, bei Pumpen oder bei Ventilen verwendet werden.


Die perfekte Auswertung der Topographie der bearbeiteten Planflächen sichert die Qualität, den Bearbeitungsprozess sowie die Prozessfähigkeit.


Unterschied bei Ebenheitsmessungen durch Laser-Interferometrie und konventionelles taktiles Messen über hochgenaue Koordinatenmessmaschinen


Interferometrie
Koordinatenmessung

geringer Programmieraufwand
Hoher Programmieraufwand

Viele Messpunkte (~100.000 MP)
Wenige Messpunkte (~50 MP)

Berührungslos
Berührend

Sehr hohe Genauigkeit (50 Nanometer)
Hohe Genauigkeit (1400 Nanometer = 1,4 µm)

Sehr schnelle Messung (~30 sec.)
Schnelle Messung (~120 sec.)

sehr hohe Kosten für Messgerät
Hohe Kosten für Messgerät

Temperaturunempfindliches Messgerät
Temperaturempfindliches Messgerät

Messbereich maximal Ø 550 mm
Messbereich auch größer 1000 mm

Nur äussere Ebenen messbar
Auch zurückgesetzte Ebenen messbar

Keine Fixierung der Bauteile auf der Messmaschine notwendig
Fixierung der Bauteile auf der Messmaschine notwendig

Geringer Schulungsaufwand für Bedienpersonal der Messmaschine notwendig
Hoher Schulungsaufwand für Bedienpersonal der Messmaschine notwendig


Servicemessungen


Ebenheitsmessungen mit unseren Interferometern bieten wir für Sie als Dienstleistung an. Wir messen Einzelteile, Muster bis hin zu kompletten Serien. Je nach Wahl kann die Ebenheit der Teile in einer einfachen Liste, in Form einer detaillierten PDF-Datei oder auch in Ausdrucken der verschiedenen Grafiken dokumentiert werden.


Nutzen Sie unsere modernen Anlagen für Ihren Erfolg!


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